ウェット洗浄

水を媒体とするので取り扱いがしやすく、洗浄方法として最も歴史が長い、主流の方法である。ウェット洗浄で使用される過酸化水素水をベースとした薬液は洗浄対象によって使い分けられ、主に洗浄液を張った処理槽に基板を沈めて全体を処理する、浸漬式が用いられる。洗浄に使用される薬液は、過酸化水素水をベースとしたもので、洗浄対象によって、使い分けられる。一般的に、洗浄液を貼った処理槽に基板を沈めての、浸漬式で処理が行われる。効果を上げる為に、メガソニックなどの超音波振動、ブラシやスクラブなどの外力を足す場合もあるが、基板表面の構造は大変微細であるため、ダメージを与えないよう注意が必要である。枚葉式はウエハに薬液を吹きかけて洗い流す方法である。

其々メリット、デメリットが存在するが、枚葉式とバッチ式、どの様式も、仕上げとしてリンスと乾燥が必須になる。

バッチ式

２５枚１バッチのウエハを、順番に並んだ薬液層と純水槽に連続的に浸漬させて洗浄していく方法。一度に大量に洗浄する事ができるが、同じ薬液を複数回使用する為、パーティクルが槽内に蓄積していくというデメリットがある。

ワンバス式

ウエハを回転させながら薬液をスプレーして、洗い流す方法。ワンバス式と同様、洗い流すことで洗浄効果は上げられるが、薬液の使用量がやはり多くなる。対策として、オゾン水と希フッ酸を交互にスプレーする方法なども一部で用いられている。

枚葉式

ウエハを回転させながら薬液をスプレーして、洗い流す方法。ワンバス式と同様、洗い流すことで洗浄効果は上げられるが、薬液の使用量がやはり多くなる。対策として、オゾン水と希フッ酸を交互にスプレーする方法なども一部で用いられている。

 

 

ドライ洗浄

 薬液の代わりにガスを使用して行うドライな洗浄の方法もある。ドライな方法は、薬液の表面張力による微細な構造へのダメージを心配しなくて良いという利点と、薬液や純水の使用量を少なく抑えられるという利点がある。ガスとして反応させて汚染物質を除去するドライな方法は、作用する分子数が希薄になり反動が劣る事が多く、それを補う為に温度を上げるなど、対策を要する。

 

まとめ　

オリエントの洗浄装置は・・・

薬液を使ったバッチ式洗浄・ウェット洗浄を得意としており、薬液選定も含め、お客様のご相談を受けて、最適なプロセスをご提案致します。
シリコン、ガラス、セラミックなどの小ワークから、大口径ウエハまで、様々なワークへ対応し、小型実験機から大型量産装置まで幅広く制作しております。

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