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半導体用語集 は行

GLOSSARY

半導体用語集です。

パーティクル

・Particle 
微粒子の事。塵埃。IC製造の拡散工程においてパーティクルは大敵である。パーティクルの存在はIC構造欠陥を生じ、特性、信頼性の劣化、歩留まりの低下を起こす。


配管(はいかん)

・Piping 
流体輸送や配線などの保護目的で利用される管やチューブ、ホースなどをそれらの目的のために取り付ける事。又は取り付けられたその管やチューブ自体を指す。


パイプ

・Pipe
パイプ(管)は円筒状で中が空洞の物をさす。中空内部に液体・気体・粉体などの流体を輸送したリ電気配線やケーブルなどを保護する目的などに利用される。


パターンレイアウト

・Layout pattern 
配置配列。ICの回路図や論理回路図を元に、ICチップ内にトランジスタ、FET、ダイオード、抵抗、コンデンサなどの各種部品を配置し、各部品相互間の配線経路を定めること。大規模LSIになると各種部品の配置及び配線はチップの性能やサイズを左右するため、困難さと共に、非常に長い時間を要する。このため、各種の自動レイアウトツールが開発され使われている。チップ面積を小さくしたい場合は、設計者が直接配置を決定する。


半導体(はんどうたい)

・Semiconductor 
金属のように電流が流れやすい「導体」と、ガラスのように電流がほとんど流れない「絶縁体」との中間の電気伝導性をもつ物質。電圧をかけたり、光を当てたり、熱を加えたりすることで、電気を流したり流さなかったりする性質がある。負の温度係数を持つ。また、不純物の微量な添加によって電気伝導度をコントロールできる。こうした特性から、半導体はトランジスタやICだけでなく、半導体レーザや各種センサなど、多くの電子デバイスに用いられている。


表面張力(ひょうめんちょうりょく)

・Surface tension

表面をできるだけ小さくしようとする性質の事で、界面張力の一種である。界面とは、ある液体や固体の相が他の相と接している境界の事である。このうち一方が液体や固体でもう一方が気体の場合にその界面を表面という。 

 

フェールセーフ

・Fail-safe
機械やシステムの設計などについての考え方の1つで、部品の故障や破損、操作ミスなどが発生した際になるべく安全な状態に移行する様な仕組みにしておく事。


フォトマスク

・Photomask
マスク、レティクルとも呼ばれる。IC 製造工程でステッパなどによってウェハ上にマスクパターンを転写する露光工程で使用される。石英製の板表面にクロムなどで一定の回路パターンを形成したもの。


フッ酸(ふっさん)

・Hydrofluoric acid
無色透明で刺激臭のある劇物である。強い腐食作用を持ち、ガラスや半導体の表面加工、金属の洗浄・錆び落としなど多種多様な用途で用いられる。


フッ素樹脂(ふっそじゅし)

・Fluororesin
フッ素を含むオレフィンを重合して得られる合成樹脂の総称である。耐熱性・耐薬性に優れ、摩擦係数の小さい事が特徴である。


歩留まり率(ぶどまりりつ)

・Yield
半導体の製造工程における良品率をいう。投入ウエハ枚数に対する完成良品ウエハ枚数の比率を表す工程歩留まりや、1ウエハあたりのチップ収量に対しウエハテストで残った良品の比率を表すチップ歩留まりなどがある。一般に歩留まりというと、チップ歩留まりのことをさす場合が多い。

ベルジャー

・Belljar
釣鐘形の実験用のガラス容器。


飽和蒸気(ほうわじょうき)

・Saturated vapor

 

一定温度のもとで、液体又は固体とその蒸気とが平衡状態にある時、この蒸気をその液体また固体の飽和蒸気、このときの蒸気の圧力をその液体又は固体の飽和気圧あるいは最大蒸気圧という。

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