半導体用語集です。

撹拌（かくはん）

・Mixing/stirring/spatulation
物をかき混ぜる事。

凝集（ぎょうしゅう）

・Aggregation
散らばったり溶けたりしていたものが凝り固まること。

クランプする

固定する。締める。

クリーンベンチ

・Clean bench
埃やコンタミネーションを避けながら作業を行うための装置。 作業を行う台のようなスペースを取り囲む様に、壁と天井を設けた箱のような構造をしており、濾過した空気を作業スペースにひきつける事で無埃、無菌の状態に保つ物である。

クリーンルーム

・Clean room/clean booth
非常に清浄な環境条件を保ち、同時に温度・湿度をコントロール・モニターしている工場または作業空間。IC では、nm オーダの超微細なパターンを加工しているため、微量のゴミ（パーティクル）や金属、各種イオン、有機物などの不純物が存在すると、IC の歩留りや性能、信頼性などを低下させる。そのため、IC の製造はクリーンルーム内で行う。クリーンルームの清浄度のレベルは、存在するゴミの粒径と個数によって「クラス」という名前で表現される。清浄環境を実現するため、一般には全体に与圧をかけ、天井のフィルタから網目状になっている床に向かって絶えず空気を流し続けている（ダウンフロー）。

結露（けつろ）

・Dew Condensation
固体状態における物質の内部や表面で空気中の水蒸気が凝縮する現象のこと 。

現象（げんしょう）

・Development
半導体製造の後工程で行われる作業。現象液を吐出してウエハ上の露光された部分を溶かし、薄膜の表面を露出させるものである。

研磨（けんま）

・Polishing
物の表面を滑らかにするために、研ぎ磨く事。

光学ローパスフィルタ

・Low-pass filter
フィルタの一種で、なんらかの信号のうち、遮断周波数より低い周波数の成分はほとんど減衰させず、遮断周波数より高い周波数の成分を逓減させるフィルタである。ハイカットフィルタとも呼ばれる。電気回路・電子回路では、フィルタ回路の一種である。

コーター

・Coater
ウエハ―上にレジストをナノ単位で均一に塗布する為の装置。材料をバキュームチャックして回転させ遠心力によってレジストを均一に伸ばすスピン式が一般的だが、近年、スピンレス式も導入されている。

コーターカップ

・Coater cup
塗布液の飛散を防止するために設けられている壁。

合成樹脂（ごうせいじゅし）

・Synthetic resin
主に石油を原料として人為的に製造された高分子化合物から成る物質を指す。電気を通さない・水や薬品などに強く腐食しにくい・自己潤滑性がある・燃えやすい・紫外線に弱い、などが特徴として挙げられる。

コンデンサ

・Capacitor
電気回路の部品として使われる、伝導体に電荷を蓄える装置。交流（高周波数）を通し、直流（低周波数）は通さない（電気が溜っている状態）。回路設計において、抵抗やコイル等の部品と組み合わせて充電と放電を制御する。

コンバータ

・Convertor
交流を直流に変換する装置。整流機。直流を利用する電子機器を交流の家庭用電源で使う場合、内蔵されたコンバータ（AC-DC変換回路）、または外付けのACアダプタによって変換する。直流を交流に変換する装置はインバータという。