枚葉処理装置
枚葉処理装置
ウエハ１枚を処理する実験装置からCtoC量産機まで用途に応じて対応します。
枚葉処理装置
【特徴】
・偏芯チャック機構（特許技術）で
1.低コストで製作可能。
2.裏面の洗浄が容易に行えます。
・１枚から処理が可能な簡易型。
【動作仕様】
| 循環スプレー式（ノズル揺動機構式) |
| ・処理スプレー→回転乾燥 |
詳細は製品資料(PDF)をご覧ください。
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将来性を考えた製品づくりを通じて時代を築き、信頼を築くこと。
これこそプロフェッショナルなスペシャリストとしての私たち、オリエント技研の道であると信じています。
お客さまからの受託により、洗浄装置、CR設備、乾燥装置、枚葉装置、実験装置、その他装置を開発製造しております。
また、自社製品の開発にも積極的に取り組んでおります。