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洗浄・乾燥

Cleaning/Drying 

将来性を考えた製品づくりを通じて時代を築き、信頼を築くこと。
これこそプロフェッショナルなスペシャリストとしての私たち、オリエント技研の道であると信じています。
お客さまからの受託により、洗浄装置、CR設備、乾燥装置、枚葉装置、実験装置、その他装置を開発製造しております。
また、自社製品の開発にも積極的に取り組んでおります。

洗浄製品

乾燥製品

洗浄製品

洗浄・乾燥は、創業以来オリエント技研が最も尽力してきた分野です。洗浄装置は、シリコン/ガラス/セラミック等の小ワークから、大口径ウエハまで様々なワークへ対応し、小型実験機から大型量産装置まで製作しております. 乾燥装置も用途/目的に合わせてお選びいただけます。

自動洗浄装置

【主な種類】

治具洗浄装置(酸/有機溶剤対応)/レジスト剥離装置(酸/有機溶剤/モノエタノールアミン系溶剤対応)/リフトオフ洗浄装置/エッチング装置/現像装置/超音波洗浄装置など

レジスト剥離は、安心・安価・燃えない、モノエタノールアミン系溶剤をおススメしています!詳しくはこちらをどうぞ。

【動作仕様】

有機系剥離液によりレジスト除去→リンス→純水洗浄→スピン乾燥までの自動処理装置。

材質:SUS、PVC、PPにて製作可能
温調制御、自動薬液調合、pH調整機能、その他

 

 

自動洗浄装置

マスク洗浄装置

【特徴】

各種マスクを自動搬送システムにて洗浄基盤1枚からカセット単位で手動・自動処理可能。

(1)熱硫酸槽:80℃で温度調節された処理槽にてDIP処理
(2)DIP水洗槽1:オーバーフロー方式による水洗槽で1次洗浄
(3)DIP水洗槽2:オーバーフロー方式による水洗槽で最終洗浄
(4)スピン乾燥:処理を終えたホルダー、又はカセットごとにスピン乾燥

マスク洗浄装置

石英管/ベルジャー洗浄装置~保管庫

【特徴】

使用液:フッ酸・硝酸・過水等の溶液。 縦型洗浄装置も製作可能(ベルジャー等)自動薬液供給システムの取付も可能です。

【洗浄対象物】

・石英炉芯管 Φ130~Φ450 各種対応
・その他石英部品、石英治具

石英管/ベルジャー洗浄装置~保管庫

PIQ塗布装置/スピンコーター

【動作仕様】

・ローダー、アンローダー共Wカセット仕様 ・マスク、ウエハ対応可能、2液塗布可能
・ベーク炉内に残ったワークの自動回収機構 ・直動サーボモーターによる高速スピン
・スピンエッチャー

MEMS剥離装置

【特徴】

用途、サイズなど、ご要望に応じて製作致します。お気軽にお問い合わせ下さいませ。

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枚葉処理装置

【特徴】

偏芯チャック機構(特許技術)で ①低コストでの制作が可能 
②裏面の洗浄が容易に行えます。
1枚からの処理が可能な簡易型です

【作動】

枚葉スプレーエッチング→2流体洗浄→乾燥

コーターカップ洗浄装置

【特徴】

汚れたカップをスピーディに安全に洗浄できる装置です!環境に対する配慮や、使い易さを追求した、便利な自社開発製品です。
炭酸エチレンを使った洗浄で、環境にも、作業員にとっても安全です

高圧部分洗浄機

【特徴】

透明なPVCの洗浄室に洗浄物をセットし、ノズルを位置決め・固定。洗浄物を左右に揺動することで速やかに洗浄が行えます。

【用途例】

ハンディタイプの洗浄機をお使いの方へ、スイッチ一つでタイマー洗浄できるこちらの装置をお勧めします。密閉構造なので、室内でもお使い頂けます。

乾燥製品

乾燥製品のご紹介です。

リフトドライ(温水引き上げ乾燥装置)

【特徴】

表面張力と高熱で速乾させる方法で、壊れやすいワークや、溝の深いパターン・コンタクトホールなどもクリーンに、確実に乾燥できます!

アセトンやイソプロピルアルコールなどの薬品を使って洗浄・乾燥させているものから切り替えませんか?リフトドライなら、薬液、動力不要で安心・安全、パーティクルも出ません。

スピンドライヤー

【特徴】

スライドで蓋が開閉するコンパクト設計なので、上部に大きなスペースを必要としません。めっき用ホルダー乾燥機としても納入実績があります。

【主な用途】

半導体ウエハや基盤等の乾燥にご利用いただけます。

スピンドライヤー

基板用スピン乾燥機

【特徴】

メカチャック、または真空チャック。
回転数:~3,000rpm

基板の大きさに合わせて製作が可能です。

【主な用途】

セラミック基板・ガラス基板他。

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将来性を考えた製品づくりを通じて時代を築き、信頼を築くこと。
これこそプロフェッショナルなスペシャリストとしての私たち、オリエント技研の道であると信じています。
お客さまからの受託により、洗浄装置、CR設備、乾燥装置、枚葉装置、実験装置、その他装置を開発製造しております。
また、自社製品の開発にも積極的に取り組んでおります。

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